Publicaties

Skip Navigation Links.
Zoeken naar publicaties:
Beperk het zoeken tot de velden:


ECN publicatie: facebook
Titel:
De Flexicoat-300: een roll-to-roll PECVD systeem voor fabricage van dunne film silicium zonnecellen op folie
 
Auteur(s):
 
Gepubliceerd door: Publicatie datum:
ECN Zonne-energie 15-3-2012
 
ECN publicatienummer: Publicatie type:
ECN-V--12-007 Artikel vakblad
 
Aantal pagina's: Volledige tekst:
7  Niet beschikbaar.

Gepubliceerd in: NEVAC blad (Nederlandse Vacuümvereniging), , 2012, Vol.1, p.30-39.

Samenvatting:
De Flexicoat300 is een experimentele roll-to-roll opstelling van ECN, waarmee een nieuw fabricageproces van dunne film silicium zonnecellen op folie wordt ontwikkeld. In het systeem worden de actieve lagen van de zonnecellen geproduceerd door middel van een Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition proces. Het systeem heeft verschillende plasma depositiebronnen, elk met een specifieke taak in her fabricageproces. Voor de procesbewaking zijn verschillende middelen aanwezig zoals Optische Emissie Spectroscopie, Residual Gas Spectroscopie en Kelvin probe spectroscopie. In het systeem kunnen intrinsieke en gedoteerde; amorfe en microkristallijne siliciumlagen geschikt voor zonnecellen worden gedeponeerd. De eerste cellen die in het systeem zijn gemaakt hebben een rendement van ruim 8%.


Terug naar overzicht.