Scanning Electron Microscope

Met de Scanning Electronen Microscope (SEM), uitgerust met een veld emissie bron, kan snel een beoordeling worden gegeven van een oppervlak. Dit kan zowel een geprepareerde doorsnede als een onbewerkt oppervlak van bijvoorbeeld een breukvlak zijn. Van het breukvlak kan aan de hand van de fractografische kenmerken de aard van de breuk en daarmee vaak de oorzaak van de breuk worden bepaald. De SEM is uitgerust met een energie dispersief röntgen micro-analyse (EDX) systeem waarmee kwantitatieve analyses van materialen, corrosieproducten enz., kunnen worden uitgevoerd. De grootte van de te analyseren deeltjes of fasen ligt minimaal in de orde van enkele micron. Dankzij het gebruik van de veld emissie bron is het mogelijk om materialen die gevoelig zijn voor beschadigingen, door hoog energetische electronen of slecht geleidend zijn, te onderzoeken met laag energetische electronen met behoud van lichtintensiteit en oplossend vermogen. Tevens is het niet altijd meer noodzakelijk geleidende lagen aan te brengen door middel van opsputteren of opdampen.